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硅片拋光液
我公司以自主研發(fā)生產(chǎn)的高純二氧化硅磨料為基礎(chǔ)開發(fā)出SW-1002硅片粗拋光用拋光液，此款拋光液稀釋比高、拋光后表面易清洗。
產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于集成電路襯底制造中。

【性能指標(biāo)】

檢測項目

檢測方法

指標(biāo)值

外觀

目測

乳白色液體

固含量（%）

重量法

40±2

pH值(20℃)

pH計

11.5-12.5

粒徑(nm)

激光粒度分析儀

80±10

大顆粒數(shù)（parts/ml）

大顆粒計數(shù)器

﹤1000000

【包裝方式】

20L藍(lán)色塑料桶包裝，每桶可裝25kg；也可按客戶要求包裝。
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